Электроника

Инновационные аспекты технологии химико-механического нанополирования материалов полупроводниковой электроники. Часть 1.
Инновационные аспекты технологии химико-механического нанополирования материалов полупроводниковой электроники. Часть 1.
Представлены результаты изучения 4-х аспектов технологии ХМП - химического, механического, коррозионноэлектрохимического и механохимического
А.С. Артемов, ИОФ им. А.М. Прохорова РАН, И.Г. Рузавин
21.08.2018
670